气浮综合性主动隔振系统

气浮综合性主动隔振系统

LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术（空气和STACIS）整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应，这实现了低频率消振和**的高频隔振水平。

LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计，可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架，具体取决于应用要求。

规格

▪ 采用STACIS®技术

▪ 主动惯性消振系统

▪ 消振从低于1 Hz开始

▪ 加长行程的压电致动器，高达60微米。

▪ 6个主动自由度

▪ 由两个串联隔振系统组成，可实现**隔振效果

▪ 采用MaxDamp®空气隔振器

▪ 简单、坚固且经济高效

▪ 可选的搁板，用于在工作台下方安装设备

▪ 包括TMC的DC-2020数字控制器

性能

将低频、被动MaxDamp®空气隔振器与压电主动消振系统串联在一起，可得到整体传递率曲线，即两条单独传递率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显著，在某些频率范围内，我们受到测量仪器噪声基底的限制。并且无法测量和演示完整的隔振性能。也就是说，在10-12 Hz以上，组合系统的实际性能预计将超过所示性能，因为组合隔振理论上是两个子系统所提供的隔振的总和。

气浮综合性主动隔振系统 应用照片